SEM
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15nm
Resolution60,000x
MagnificationSE / BSE
Multi Detector
15nm의 분해능과 6만배까지 배율 확대 가능한 보급형 Tabletop SEM 입니다.
또한, 다양한 Detector를 통해서 사용자가 보고자하는
Sample의 표면 형태(SE) 및 성분에 따라 명암으로 표현되는 Image(BSE) 결과로
연구개발 및 품질관리, 교육실습 등의 목적으로 사용가능합니다.Stage System
X,Y,R (3-axis)
Beam Shift:150μmAuto Setting
Focus, Contrast, BrightnessDual View Mode
SE/BSE Multi Display
총 3축 구성으로 간편한 Sample 위치 이동과
Program 내에 마우스 조작으로 단순하고 편리하게 Operation 가능합니다.
또한, SE/BSE Image를 동시에 Display 할 수 있는
Dual View Mode로 Sample Image 확인 및 동시 저장이 가능합니다.SpecificationsElectron System Stage System Image System Vacuum System Dimensions Resolution 15nm (30kV, SE Image) 20nm (30kV, BSE Image) Magnification 20x~60,000x Accelerating Voltage 1~30kV (1/5/10/15/20/30) Detector Secondary Electron Image(SE) Backscattered Electron Image(BSE) Electron Gun Pre-centered Tungsten Filament Cartridge Stage Traverse 3-axis System (X, Y, R, Z, T - Manual) X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° * Image Shift : ±150μm * Chamber CCD Camera 구성 * T-axis : 0 to 45˚ (Option) Max. Sample Size 70mm in Diameter x 30mm in Height Automation Function Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator, Auto Contrast & Brightness Image Format BMP, JPEG, PNG, TIFF Vacuum Mode High & Low Vacuum Vacuum Pump Rotary Pump / Turbo Molecular Pump (Full Automation) Main Unit 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg Controller Unit 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg Rotary Pump 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg -
제품 사양은 변경 될 수 있습니다.
제품마다 납기는 차이가 있을 수 있습니다.
