SEM
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15nm
Resolution60,000x
MagnificationSE Image
SE Detector
전자현미경으로 주로 사용되는 1만배 전후의 Sample 표면 Image를
관찰하기에 적합한 Tabletop SEM입니다.
15nm의 분해능과 6만배까지 배율 확대 가능한 저렴한 보급형 Tabletop SEM 입니다.Stage System
X,Y,R (3-axis)
Beam Shift: 150μmAuto Setting
Focus, Contrast, BrightnessSimple S/W
Convenient Operation
총 3축 구성으로 간편한 Sample 위치 이동과
Program 내에 마우스 조작으로 단순하고 편리하게 Operation 가능합니다.
단계적인 Scan Mode와 Measurement Tool로 다양한 분석결과 획득이 가능합니다.SpecificationsElectron System Stage System Image System Vacuum System Dimensions Resolution 15nm (30kV, SE Image) Magnification 20x~60,000x Accelerating Voltage 1~30kV (1/5/10/15/20/30) Detector Secondary Electron Image(SE) Electron Gun Pre-centered Tungsten Filament Cartridge Stage Traverse 3-axis System (X, Y, R - Manual) X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360° * Image Shift : ±150μm * Tilt-axis : 0~45° (Option) Max. Sample Size 70mm in Diameter x 30mm in Height Automation Function Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator, Auto Contrast & Brightness Image Format BMP, JPEG, PNG, TIFF Vacuum Mode High Vacuum Vacuum Pump Rotary Pump / Turbo Molecular Pump (Full Automation) Main Unit 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg Controller Unit 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg Rotary Pump 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg -
제품 사양은 변경 될 수 있습니다.
제품마다 납기는 차이가 있을 수 있습니다.
