SEC
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Resolution100,000x
MagnificationSE Image
SE Detector
Normal-SEM의 Module 소형화를 실현함으로써 최대 10만배까지 영상을 관찰할 수 있는 경제적인 Tabletop SEM입니다. 조건에 따라 쉽게 조작이 가능한 Variable Aperture 장착으로 고 분해능인 5nm의 높은 Image Scan이 가능한 모델입니다.
Stage System
X,Y,Z,R,T (5-axis)
Beam Shift: 150μmAuto Setting
Focus, Contrast, BrightnessSimple S/W
Convenient Operation
Tabletop SEM 유일 5축 구성으로 다양한 Sample 위치 이동과 Program 내에 마우스 조작으로 단순하고 편리하게 Operation 가능합니다. 단계적인 Scan Mode와 Measurement Tool로 다양한 분석결과 획득이 가능합니다.
SpecificationsElectron System Resolution 5nm (30kV, SE Image) Magnification 20x~100,000x Accelerating Voltage 1~30kV (1/5/10/15/20/30) Detector Secondary Electron Image(SE) Electron Gun Pre-centered Tungsten Filament Cartridge Stage System Stage Traverse 5-axis System (X, Y, R, Z, T - Manual) X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360° Z-axis : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45° * Image Shift : ±150μm Max. Sample Size 80mm in Diameter x 35mm in Height Image System Automation Function Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator, Auto Contrast & Brightness Image Format BMP, JPEG, PNG, TIFF Vacuum System Vacuum Mode High Vacuum (Low Vacuum Option) Vacuum Pump Rotary Pump / Turbo Molecular Pump (Full Automation) Dimensions Main Unit 390(W)x615(D)x560(H)mm Rotary Pump 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg -
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